C-/X-/Ku-대역 송수신 GaN MMIC 칩셋 기술 A08 특허기술명 : 질화물계 반도체소자 제조방법 GaN MMIC chipset technology for C-/X-/Ku-band Transceiver TRL4 :Lab Scale 시제품 개발 한줄 기술 요약 소자의 주파수 특성을 향상시키는 질화갈륨계 반도체 소자 제조방법에 관한 기술 질화갈륨계 HEMT내에서 발생하는 외인성(extrinsic) 지연 성분을 감소시키기 위해 보호막의 일부를 리세스 식각하여 에어갭층을...
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